LASER
Semicon. probe card cleaning
400P-A / #400P-S (Probe card cleaning system)
- 반도체 웨이퍼를 검사하는 Probe card를 세정하는 장비로 레이저를 이용해 Probe tip 표면의 오염을 제거합니다.
- Probe card 종류에 따라 작업 recipe를 작성하여 자동으로 세정합니다.
- 자동, 반자동, 수동 장비가 있습니다.
< Probe Card Cleaner - 400P (레이저 세정기) >