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비전검사 전처리 세정 - 검사 설비 내부 또는 바로 전단에 설치

기존 세정 방법

적용처

  • LCD/OLED Glass
  • Mobile Glass
  • PCB etc.

기존방법

  • Air or N2 Blowing
  • Ionizer Blowing
  • Wet Cleaning

Vision
Inspection
M/C

True Defect
+
Contamination

이물질도 결함으로 검사되어 Rework 증가   /  Yield 감소

개선

CO2 세정 적용

적용처

  • LCD/OLED Glass
  • Mobile Glass
  • PCB etc.

CO2 Jet CleanerRemoving Contamination

Vision
Inspection
M/C

True Defect

효과

진성결함 (True defect) 만 검사 되어 Rework 최소화  /  Yield 증가

자동화

Full AutoC2100

In-Line Conveyor type Conveyor Loading
XY Scanning type

more

Full AutoC2200

Stand alone type Magazine/Cassette
/Tray Stack
Auto Loading
XY Scanning type

more

Full AutoC3100

Wafer Cleaner( ~12”) Cassette Auto Loading
Ring Frame Loading
Dual Cleaning Chambers
Spinning type

more

Semi AutoC1200

Stand alone type Manual Loading
Multi Size Cleaning
XY Scanning type

more